SLIT COATER

1. 액상PR/액상PID를 고정밀 균일 코팅가능

2. 고해상도 프로세스 대응.

3. Warpage기판에 대응.

4. 코터・현상 시스템으로 양산대응이 가능하고,노광기／TMAH현상기 등의 설비와 인라인하여 양산을 서포트.

1. Nano Level의 박막에서 후막까지 각종 코팅재료에 대응.
2. 다품종 다양한 배관계통을 준비가능하여, 요구하시는 막두께・균일성에 대응.
3.각종 프로세스에 대응가능한 유연한 설비구성이 가능하여 연구개발설비・소량생산설비에도 최적.
4.Coater/Developer 인라인시스템 구성도 가능.
5. 다른 2종류의 재료 코팅에 대응가능한 2노즐 사양도 라인업.
6. 전면코팅외에도 Stripe 코팅, Patch 코팅, Block코팅도 가능.
7. 반도체 패키징용 LC-M550G.
LinearCoater™의 우수한 코팅성능을 계승

1. 디스플레이용 코팅기술을 계승하여 독자개발한 코팅다이로 우수한 코팅 균일성을 구현.
2. LC-R300G은 실린지식의 초소량 펌프로 최소50cc(배관용적 15cc)의 코팅재료로 실험이 가능.
3. 전면코팅외에 Stripe코팅, Patch코팅, Block코팅 등 용도에 따른 코팅 패턴선택이 가능.
4. VCD, Hot Plate도 옵션으로 대응가능.
5. LC-R300G를 환경챔버(옵션)에 설치하여 산소, 수분 등을 컨트롤한 환경하에서의 코팅실험이 가능.

양산설비로의 전개
LinearCoater™ Series를 시작으로 다양한 라인업으로 양산을 서포트