LIA™ Plasma
독자 플라즈마기술로 대형기판으로의 고속 균일처리 구현
Low Inductance Antenna방식의 유도결합형(LIA™-ICP)플라즈마기술은 플라즈마를 고밀도로 대면적에 발생시키는 독자의 플라즈마 기술입니다.
* LIA는 ㈜ EMD Corporation의 상표 또는 등록상표입니다.
당사는 SCREEN Finetech Solutions Co., Ltd. 의 한국판매대리점입니다.
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