OLED Backplane 제조공정용 SK-E
TSP 공정용 SK-EH
Coater/Developer SK-E series
World Share를 점유하는 LCD용 Coater/Developer로 오랜 기간에 걸쳐 쌓은 노우하우를 바탕으로 OLED Panel 양산에 특화된 제품을 개발했습니다.
- OLED Backplane용 Coater/Developer SK-E1500G
- TSP용 Coater/Developer SK-E1500H
특징
L/S 1.5um이하 프로세스에 대응하기 위해 하기의 기술을 확립
1. Mini-environment구조에 의한 파티클 제어.
2. 도전성부자재, 부상반송의 채용과 이오나이저의 최적배치에 의한 ESD제어.
3. 부상반송코터 Levicoater™ 는 2노즐 탑재가능하고, OLED 프로세스에 필요한 복수의 약액대응 간이화.
4. SK-E1500H는 G6 Half기판의 2장 동시처리가 가능하여, 생산효율 향상에 기여.사양
대응기판사이즈
SK-E1500G: 1,500mm x 1,850 mm (G6)
SK-E1500H: 1,500mm x 925 mm (G6 Half)
당사는 SCREEN Finetech Solutions Co., Ltd. 의 한국판매대리점입니다.
* Linear Coater 및 Levicoater는 SCREEN Holdings Co., Ltd.의 등록 상표 및/또는 상표입니다.
OLED용 Colorfilter막(반사방지막) 형성공정용
Coater/Developer SK-F series
폴더블, 롤러블이 가능한 플렉시블 OLED에 대응한 컬러필터막 형성공정용 Coater/Developer설비이고, OLED양산에 특화된 제품군 E series는 풍부한 실적을 바탕으로, OLED양산과제를 해결하여 수율향상을 구현합니다.
특징
1. OLED용 컬러필터막의 코팅~현상까지를 일괄 라인으로 처리.
2. OLED발광층이 형성된 기판에 컬러필터막 형성프로세스 대응.
3. G6 Half기판의 2장 연속처리로 생산효율 향상에 기여.
・독자의 기판반송기술로 G6 Half기판을 2장 연속처리
4. 도전성부자재, 부상반송 채용과 이오나이저의 최적배치로 ESD제어.
5. 부상반송방식의 슬릿코터 Levicoater™를 채용.
・최대 G10까지의 대형기판에 다수의 실적이 있는 고해상도 코터
・2노즐 타입으로 복수의 약액계통에 대응(옵션)Specifications
대응기판사이즈
SK-F1500H1,500mmｘ925mm (G6 Half기판) 2장 연속처리
당사는 SCREEN Finetech Solutions Co., Ltd. 의 한국판매대리점입니다.
* Linear Coater 및 Levicoater는 SCREEN Holdings Co., Ltd.의 등록 상표 및/또는 상표입니다.
플렉시블 디스플레이용
PI막 형성공정
Coater Line SK-P series
플렉시블기판재료의 PI막 형성에 특화된 설비이고, 대형 Carrier Glass기판의 세정~PI재료 코팅~건조까지를 일괄 라인 처리로 양산에서의 생산성을 비약적 향상시킵니다.
특징
1. Linearcoater™의 코팅기술을 PI에 최적화하여, 우수한 막두께 균일성을 실현.
2. 고점도 PI에 최적화한 배관구조와 고내압펌프를 탑재.
3. 독자의 Air vent구조로 PI내의 기포를 제거하여 생산성 향상.
Specifications
대응기판사이즈
730 x 920 mm (G4) ~ 1,500×1,850 mm（G6)
* 파이롯트라인용 구성도 대응 가능합니다.* Linearcoater는 ㈜ SCREEN Holdings Co., Ltd.의 상표 또는 등록상표입니다.
당사는 SCREEN Finetech Solutions Co., Ltd. 의 한국판매대리점입니다.
* Linear Coater 및 Levicoater는 SCREEN Holdings Co., Ltd.의 등록 상표 및/또는 상표입니다.
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